KNN lead-free technology on 200 mm Si wafer for piezoelectric actuator applications - Université de Rennes 1 Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Sensors and Actuators A: Physical Année : 2024

KNN lead-free technology on 200 mm Si wafer for piezoelectric actuator applications

Hugo Kuentz
Christel Dieppedale
Laurent Mollard
Romain Liechti
Alain Campo
  • Fonction : Auteur
Antoine Hamelin
  • Fonction : Auteur
Christophe Poulain
Gwenael Le Rhun
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Résumé

State-of-the-art (K,Na)NbO3 (KNN) films were integrated into MEMS actuator devices in a 200 mm silicon wafer technology environment following industry compatible process. The ferroelectric, dielectric and piezoelectric properties of KNN films with a thickness of 1 µm and 1.9 µm integrated into capacitors were assessed throughout the whole 200 mm wafers. The actuator behavior was highlighted through electromechanical measurements on KNN based devices such as cantilever beams and membranes. KNN was eventually used to actuate micro-mirrors, one of the main piezoMEMS components that may drive the market in the near future. The results demonstrate that KNN technology is promising for replacing lead content PZT technology in piezoelectric MEMS industry.

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Chimie
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Année Mois Jours
Avant la publication
mercredi 9 octobre 2024
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Dates et versions

hal-04570854 , version 1 (03-07-2024)

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Citer

Hugo Kuentz, Christel Dieppedale, Laurent Mollard, Romain Liechti, Alain Campo, et al.. KNN lead-free technology on 200 mm Si wafer for piezoelectric actuator applications. Sensors and Actuators A: Physical , 2024, 372, pp.115370. ⟨10.1016/j.sna.2024.115370⟩. ⟨hal-04570854⟩
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